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Mikrosystemtechnik für Ingenieure

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Wolfgang Menz, Jürgen Mohr, Oliver Paul

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Beschreibung Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik, Galvanik und Lithographie. Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen.Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiftenLehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in dieseminterdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere dieKapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologienwurden stark erweitert.


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Updated: 21.10.2021
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